tỷ lệ cá cược sản phẩm/dịch vụ

Sản phẩm & Dịch vụ

tỷ lệ cá cược tin sản phẩm và

Hỗ trợ dịch vụ

tỷ lệ cá cược bị quy trình hình thành phim

tỷ lệ cá cược bị xử lý hình thành phim là một tỷ lệ cá cược bị tạo thành các màng mỏng cấp độ nano đóng vai trò là vật liệu mạch trên wafer.
Trong những năm gần đây, do sự phức tạp của cấu trúc của các tỷ lệ cá cược bị bán dẫn và cấu trúc ba chiều, bề mặt của wafer đã trở nên phức tạp và nhu cầu hình thành màng rất khó khăn đã tăng lên.
Tại nhóm của chúng tôi, LP-CVD*1tỷ lệ cá cược nghệ, tỷ lệ cá cược nghệ oxy hóa, tỷ lệ cá cược nghệ ủ (nhiệt độ thấp, nhiệt độ cao), tỷ lệ cá cược nghệ khuếch tán, ALD*2Chúng tôi cung cấp thiết bị quy trình lắng đọng phim tương thích với tỷ lệ cá cược nghệ và đã nhận được sự khen ngợi cao từ các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn trên toàn thế giới.

*1.
*2: Nhóm gọi phương pháp lắng đọng màng ở cấp lớp nguyên tử, liên quan đến quá trình cung cấp theo chu kỳ nhiều khí, được gọi là "ALD".

  • Tsurugi Plus-III nâng tỷ lệ cá cược
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim mini Batch

    Tsurugi Plus-III nâng tỷ lệ cá cược

    quá trình phản hồi

    • hình thành phim mỏng

    Mô hình hàng đầu của thiết bị quy trình hình thành phim của chúng tôi, Tsurugi Plus-III Tsurugi tiên tiến là một thiết bị xử lý nhiệt kết hợp độ khó của độ khó cao và năng suất cao cho thế hệ thiết bị tiếp theo, nơi cấu trúc đang trở nên tinh tế và phức tạp hơn. Bằng cách áp dụng một tỷ lệ cá cược nghệ mới cho phép hình thành màng rất khó khăn trong các thiết bị nhiều lớp ba chiều, trong đó diện tích bề mặt cần thiết để hình thành màng được tăng thêm và cấu trúc trở nên phức tạp hơn, chúng tôi đã có thể cung cấp các quy trình chất lượng cao.

  • Tsurugi Tsurugi nâng tỷ lệ cá cược
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim mini Batch

    Tsurugi Tsurugi nâng tỷ lệ cá cược

    Quy trình phản hồi

    • Sự hình thành phim mỏng

    Tsurugi Tsurugi tiên tiến là một thiết bị xử lý nhiệt kết hợp độ khó của độ khó tỷ lệ cá cược và năng suất tỷ lệ cá cược cho các thiết bị thế hệ tiếp theo, nơi cấu trúc đang trở nên tinh tế và phức tạp hơn. Bằng cách áp dụng một lò phản ứng mới cho phép hình thành màng rất khó khăn trên các thiết bị nhiều lớp ba chiều, chúng tôi đã có thể cung cấp các quy trình chất lượng tỷ lệ cá cược.

  • Tsurugi-c²® Tsurugi®
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim mini Batch

    Tsurugi-c²® Tsurugi®

    quá trình phản hồi

    • hình thành phim mỏng

    47304_47402

  • Advancedace®-II
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim lớn

    Advancedace®-II

    quá trình phản hồi

    • hình thành phim mỏng

    • Phim CVD và sự hình thành phim oxit

    Advancedace®-II) là một thiết bị xử lý nhiệt giúp giảm đáng kể thời gian chu kỳ và đạt được thông lượng cao bằng cách kết hợp các tỷ lệ cá cược nghệ cốt lõi của chúng tôi, kiểm soát nhiệt độ, vận chuyển tự động, máy hút bụi và khí thải, làm mát và lắng đọng phim.

  • Quixace®-II
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim lớn

    Quixace®-II

    quá trình phản hồi

    • Sự hình thành phim mỏng

    • Phim CVD và hình thành phim oxit

    Quixace®-II (nhanh ACE II) là một thiết bị xử lý nhiệt giúp giảm đáng kể thời gian chu kỳ và đạt được thông lượng cao bằng cách kết hợp các tỷ lệ cá cược nghệ cốt lõi của chúng tôi, tỷ lệ cá cược nghệ kiểm soát nhiệt độ, tỷ lệ cá cược nghệ vận chuyển tự động, tỷ lệ cá cược nghệ thay thế máy hút bụi và khí đốt, tỷ lệ cá cược nghệ làm mát và tỷ lệ cá cược nghệ ký gửi phim.

  • Vertex® Revolution
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim lớn

    Vertex® Revolution

    quá trình phản hồi

    • hình thành phim mỏng

    • Phim CVD và hình thành phim oxit

    Phiên bản mới nhất của loạt tỷ lệ cá cược bị xử lý nhiệt Vertex® tương thích với các tấm wafer 200mm, với hồ sơ phân phối theo dõi phong phú là "Vertex® Revolution".
    Từ số lượng nhỏ và các dòng phổ lớn đến các dây chuyền sản xuất hàng loạt, bạn có thể chọn mô hình phù hợp nhất với nhu cầu của bạn và có thể xử lý các tấm wafer 150mm hoặc ít hơn 200mm.

  • Quixace®-LV
    tỷ lệ cá cược bị hình thành phim EPI hàng loạt lớn

    Quixace®-LV

    quá trình phản hồi

    • hình thành phim mỏng

    Quixace®-LV là một thiết bị xử lý nhiệt giúp giảm đáng kể thời gian chu kỳ và đạt được thông lượng cao bằng cách kết hợp các tỷ lệ cá cược nghệ cốt lõi, tỷ lệ cá cược nghệ kiểm soát nhiệt độ, tỷ lệ cá cược nghệ vận chuyển tự động, tỷ lệ cá cược nghệ thay thế khí đốt và khí đốt, tỷ lệ cá cược nghệ làm mát và tỷ lệ cá cược nghệ lắng. Bằng cách sử dụng cấu trúc khóa máy chân không trong khu vực tải wafer, màng oxit tự nhiên và ô nhiễm cuối cùng đã giảm, cho phép hình thành màng chất lượng cao hơn.

Điều trị (cải tiến chất lượng màng) tỷ lệ cá cược bị xử lý

tỷ lệ cá cược bị xử lý (cải tiến chất lượng màng) là một tỷ lệ cá cược bị loại bỏ các tạp chất trong màng bằng cách áp dụng plasma hoặc nhiệt cho màng mỏng hình thành, ổn định các hạt và cải thiện chất lượng phim.
Trong những năm gần đây, với các thiết bị bán dẫn ngày càng thu nhỏ và phức tạp, nhu cầu về các tỷ lệ cá cược nghệ điều trị cho phép cải thiện chất lượng màng trong môi trường nhiệt độ thấp đã được mở rộng.
Nhóm cung cấp các thiết bị điều trị hỗ trợ nitride, oxy hóa, chữa bệnh và ủ, và đã nhận được sự khen ngợi tỷ lệ cá cược từ các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn trên khắp thế giới.

  • Marora®
    tỷ lệ cá cược bị điều trị đơn lẻ

    Marora®

    quá trình phản hồi

    • Nitriding plasma (bộ phim cách điện nitriding)

    • quá trình oxy hóa huyết tương (sự hình thành màng oxit mỏng, quá trình oxy hóa chọn lọc, oxy hóa dị hướng)

    Marora® là một tỷ lệ cá cược bị lý tưởng cho DRAM thế hệ tiếp theo, hình thành phim cách điện logic Gate và hình thành bộ nhớ flash.
    Marora® là phương pháp tạo plasma duy nhất (MMT*Phương pháp), sự hình thành huyết tương ở nhiệt độ điện tử thấp khoảng 1EV có thể hiệu quả, đạt được điều trị huyết tương không bị tổn thương trong huyết tương.

  • Tanduo®
    tỷ lệ cá cược bị điều trị đơn lẻ

    Tanduo®

    quá trình phản hồi

    • aneal (nhiệt độ thấp, nhiệt độ tỷ lệ cá cược)

    • Sự hình thành phim mỏng

    Tanduo® có thể cung cấp hệ thống tối ưu để chữa trị, ủ, khử khí, v.v. bằng cách chọn mô -đun theo quy trình.
    Ngoài ra, khi kết hợp với hệ thống vận chuyển tốc độ tỷ lệ cá cược của chúng tôi, chúng tôi cung cấp năng suất tuyệt vời và môi trường quy trình hạt thấp.

  • Advancedace®-II
    tỷ lệ cá cược bị điều trị hàng loạt lớn

    Advancedace®-II

    quá trình phản hồi

    • oxy hóa

    • khuếch tán

    • Aneal (nhiệt độ thấp, nhiệt độ tỷ lệ cá cược)

    Advanced ACE®-II) là một thiết bị xử lý nhiệt giúp giảm đáng kể thời gian chu kỳ và đạt được thông lượng cao bằng cách kết hợp các tỷ lệ cá cược nghệ cốt lõi của chúng tôi, kiểm soát nhiệt độ, vận chuyển tự động, máy hút bụi và khí thải, làm mát và lắng đọng phim.

  • Quixace®-II
    tỷ lệ cá cược bị điều trị hàng loạt lớn

    Quixace®-II

    Quy trình phản hồi

    • oxy hóa

    • khuếch tán

    • Aneal (nhiệt độ thấp, nhiệt độ tỷ lệ cá cược)

    Quixace®-II) là một thiết bị xử lý nhiệt giúp giảm đáng kể thời gian chu kỳ và đạt được thông lượng cao bằng cách kết hợp các tỷ lệ cá cược nghệ cốt lõi của chúng tôi, tỷ lệ cá cược nghệ kiểm soát nhiệt độ, tỷ lệ cá cược nghệ vận chuyển tự động, tỷ lệ cá cược nghệ thay thế máy hút bụi và khí đốt, tỷ lệ cá cược nghệ làm mát và tỷ lệ cá cược nghệ lắng.

  • Vertex® Revolution
    tỷ lệ cá cược bị điều trị hàng loạt lớn

    Vertex® Revolution

    Quy trình phản hồi

    • oxy hóa

    • khuếch tán

    • Aneal (nhiệt độ thấp, nhiệt độ tỷ lệ cá cược, nhiệt độ cực tỷ lệ cá cược)

    Phiên bản mới nhất của loạt tỷ lệ cá cược bị xử lý nhiệt Vertex® tương thích với các tấm wafer 200mm, với hồ sơ phân phối theo dõi phong phú là "Vertex® Revolution".
    Từ số lượng nhỏ và các dòng phổ lớn đến các dây chuyền sản xuất hàng loạt, bạn có thể chọn mô hình phù hợp nhất với nhu cầu của bạn và có thể xử lý các tấm wafer 150mm hoặc nhỏ hơn 200mm.

Dao động siêu âm

tỷ lệ cá cược cụ đo