Thiết bị xử lý lắng đọng
Thiết bị xử lý lắng đọng hình thức màng mỏng nano để tạo mạch trên sóng.
Khi các thiết bị bán dẫn đã trở thành ba chiều và phức tạp hơn trong những năm gần đây, bề mặt tỷ lệ cá cược ma cao những người xứ Walvers đã trở nên phức tạp hơn. Điều này lần lượt đã tăng nhu cầu về sự lắng đọng rất khó khăn.
Thiết bị xử lý lắng đọng tỷ lệ cá cược ma cao chúng tôi hỗ trợ LP-CVD*1, oxy hóa, ủ (nhiệt độ thấp và tỷ lệ cá cược ma cao), khuếch tán và ALD*2Công nghệ và đã nhận được sự chấp nhận tỷ lệ cá cược ma cao từ các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn trên toàn thế giới.
*1. Lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp
*2. Chúng tôi đề cập đến một kỹ thuật lắng đọng màng mỏng ở cấp độ lớp nguyên tử liên quan đến quá trình cung cấp theo chu kỳ tỷ lệ cá cược ma cao nhiều loại khí như là Ald Ald.
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt miniTsurugi Plus-III nâng tỷ lệ cá cược ma cao
Ứng dụng xử lý
-
L lắng phim mỏng
Tsurugi Plus-ⅲ Tsurugi tiên tiến là mô hình hàng đầu trong dòng thiết bị xử lý lắng đọng của chúng tôi. Nền tảng xử lý nhiệt này có khả năng lắng đọng rất khó và năng suất tỷ lệ cá cược ma cao trên các thiết bị thế hệ tiếp theo có cấu trúc chính xác và phút. Cảm ơn việc tăng đáng kể diện tích bề mặt cần tạo hình thành và áp dụng công nghệ mới đạt được sự lắng đọng rất khó khăn trên các thiết bị xếp chồng 3D với các cấu trúc ngày càng phức tạp, nền tảng có thể cung cấp xử lý chất lượng tỷ lệ cá cược ma cao.
-
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt mini
Tsurugi Tsurugi advanced
Ứng dụng xử lý
-
lắng đọng phim mỏng
43779_44114
-
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt miniTsurugi-c²® Tsurugi®
Ứng dụng xử lý
-
Lấy phim mỏng
Tsurugi-c²® Tsurugi® là một nền tảng xử lý nhiệt có khả năng lắng đọng rất khó và sản xuất tỷ lệ cá cược ma cao trên các thiết bị thế hệ tiếp theo. Nó được trang bị lò phản ứng Waver và các công nghệ lắng đọng khác để cho phép xử lý chất lượng tỷ lệ cá cược ma cao.
-
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt lớnAdvancedace®-II
Ứng dụng xử lý
-
Sở thích phim mỏng
-
CVD/oxit lắng đọng phim
Advancedace®-ⅱ là một nền tảng mới nhất tỷ lệ cá cược ma cao Kokusai Electric để xử lý nhiệt 300mm.
Advancedace®-ⅱ cung cấp thông lượng tỷ lệ cá cược ma cao bằng cách sử dụng các công nghệ tiên tiến trong các lĩnh vực như kiểm soát nhiệt độ, tự động hóa xử lý wafer, thanh lọc lò phản ứng. -
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt lớnQuixace®-II
Ứng dụng xử lý
-
Lấy phim mỏng
-
CVD/oxit lắng đọng phim
Quixacei® -ⅱ là một nền tảng mới nhất của Kokusai Electric để xử lý nhiệt 300mm. Quixacei® -ⅱ cung cấp thông lượng tỷ lệ cá cược ma cao bằng cách sử dụng các công nghệ nâng tỷ lệ cá cược ma cao trong các lĩnh vực như kiểm soát nhiệt độ, tự động hóa xử lý waver, thanh lọc lò phản ứng.
-
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt lớnCách mạng Vertron®
Ứng dụng xử lý
-
Lấy phim mỏng
-
CVD/oxit lắng đọng phim
Cuộc cách mạng Vertron® là sản phẩm mới nhất trong loạt các hệ thống xử lý nhiệt hàng loạt 200 mm đã được chứng minh của chúng tôi. Khách hàng có thể chọn từ một loạt các mô hình phù hợp với nhu cầu của họ-từ sản xuất khối lượng thấp có thể trộn tỷ lệ cá cược ma cao đến sản xuất hàng loạt. Nó cũng tương thích với sóng 150 mm hoặc nhỏ hơn.
-
-
Thiết bị lắng đọng hàng loạt EPI lớnQuixace®-LV
Ứng dụng xử lý
-
Sở hữu màng mỏng
Quixacei®-LV là một nền tảng mới nhất tỷ lệ cá cược ma cao Kokusai Electric để xử lý nhiệt 300mm.
Quixacei®-LV cung cấp thông lượng tỷ lệ cá cược ma cao bằng cách sử dụng các công nghệ tiên tiến trong các lĩnh vực như kiểm soát nhiệt độ, tự động hóa xử lý wafer, thanh lọc lò phản ứng.
Cấu trúc khóa tải chân không của khu vực tải wafer làm giảm đáng kể màng oxit bản địa và ô nhiễm, làm cho tiền gửi chất lượng tỷ lệ cá cược ma cao hơn có thể. -
Điều trị (cải tiến tài tỷ lệ cá cược ma cao phim) Thiết bị xử lý
Thiết bị xử lý cải thiện tính chất màng bằng cách áp dụng plasma và nhiệt trên màng mỏng để loại bỏ tạp chất khỏi màng và ổn định các hạt.
Khi các thiết bị bán dẫn đã trở nên phức tạp và phức tạp hơn trong những năm gần đây, nhu cầu đã phát triển cho công nghệ điều trị có thể cải thiện tính chất phim trong môi trường nhiệt độ thấp.
Thiết bị điều trị của chúng tôi hỗ trợ quá trình nitrid hóa, oxy hóa, bảo dưỡng và ủ, và đã nhận được sự chấp nhận tỷ lệ cá cược ma cao từ các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn trên toàn thế giới.
-
Thiết bị điều trị wafer đơnMarora®
Ứng dụng xử lý
-
Nitridation huyết tương (nitridation tỷ lệ cá cược ma cao phim ăn kiêng)
-
quá trình oxy hóa huyết tương (hình thành màng oxy hóa mỏng/quá trình oxy hóa chọn lọc/oxy hóa dị hướng)
Marora® là một công cụ phù hợp để cung cấp màng điện áp cho bộ nhớ DRAM, Logic hoặc Flash thế hệ tiếp theo.
Với phương pháp tạo plasma ban đầu tỷ lệ cá cược ma cao chúng tôi (MMT*97048_97176 -
-
Thiết bị điều trị wafer đơnTanduo®
Ứng dụng xử lý
-
ủ nhiệt độ thấp
-
Curing
Tanduo® cung cấp một hệ thống được tối ưu hóa cho quy trình như bảo dưỡng, ủ và khử khí bằng cách lựa chọn mô -đun.
Chúng tôi đã đạt được năng suất tuyệt vời và môi trường quy trình hạt thấp với hệ thống chuyển wafer tốc độ tỷ lệ cá cược ma cao ban đầu của chúng tôi. -
-
Thiết bị điều trị hàng loạt lớn
Advancedace®-II
Ứng dụng xử lý
-
oxy hóa
-
khuếch tán
-
ủ (nhiệt độ thấp/tỷ lệ cá cược ma cao.)
Advancedace®-ⅱ là một nền tảng mới nhất tỷ lệ cá cược ma cao Kokusai Electric để xử lý nhiệt 300mm.
Advancedace®-ⅱ cung cấp thông lượng tỷ lệ cá cược ma cao bằng cách sử dụng các công nghệ tiên tiến trong các lĩnh vực như kiểm soát nhiệt độ, tự động hóa xử lý wafer, thanh lọc lò phản ứng. -
-
Thiết bị điều trị hàng loạt lớn
Quixace®-II
Ứng dụng xử lý
-
oxy hóa
-
khuếch tán
-
ủ (nhiệt độ thấp/tỷ lệ cá cược ma cao.)
Quixacei® -ⅱ là một nền tảng mới nhất của Kokusai Electric để xử lý nhiệt 300mm. Quixacei® -ⅱ cung cấp thông lượng tỷ lệ cá cược ma cao bằng cách sử dụng các công nghệ nâng tỷ lệ cá cược ma cao trong các lĩnh vực như kiểm soát nhiệt độ, tự động hóa xử lý waver, thanh lọc lò phản ứng.
-
-
Thiết bị điều trị hàng loạt lớn
Cách mạng Vertron®
Ứng dụng xử lý
-
oxy hóa
-
khuếch tán
-
ủ (nhiệt độ thấp, tỷ lệ cá cược ma cao và cực tỷ lệ cá cược ma cao)
Cuộc cách mạng Vertron® là sản phẩm mới nhất trong loạt các hệ thống xử lý nhiệt hàng loạt 200 mm đã được chứng minh của chúng tôi. Khách hàng có thể chọn từ một loạt các mô hình phù hợp với nhu cầu của họ-từ sản xuất khối lượng thấp có thể trộn tỷ lệ cá cược ma cao đến sản xuất hàng loạt. Nó cũng tương thích với sóng 150 mm hoặc nhỏ hơn.
-
